СТРУКТУРА ИНСТИТУТА

ЛАБОРАТОРИЯ ПРИКЛАДНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

Лаборатория прикладной электроники была создана по решению Ученого совета ИСЭ в ноябре 1991 года. Первым руководителем лаборатории стал д.т.н. С.П. Бугаев. В настоящее время и.о. заведующего лабораторией является к.ф.-м.н. Н.С. Сочугов. В лаборатории работают 2 кандидата наук, 6 научных сотрудников, один аспирант.

Научные направления

Исследования плазмохимических процессов в вакуумных разрядах и разрядах атмосферного давления.
Разработка оборудования и технологий ионно-плазменного нанесения пленочных покрытий на подложки большой площади

Основные научные достижения

Обнаружено и исследовано явление стимулированной конденсации ненасыщенных паров в неравновесной плазме разрядов атмосферного давления. Разработаны, основанные на этом явлении, методы плазмохимической конверсии низших алканов и очистки воздуха от низкоконцентрированных органических загрязнений.
Предложен и разработан не имеющий аналогов способ нанесения твердых углеводородных покрытий из углеводородного газа в поверхностном разряде атмосферного давления.
Преложены и исследованы методы повышения эффективности работы магнетронных распылительных систем. Созданы и внедрены протяженные магнетронные распылительные системы для технологий вакуумного ионно-плазменного нанесения пленочных покрытий.
Совместно с КТО созданы вакуумные технологические установки для нанесения покрытий на подложки большой площади.
Разработана и внедрена в производство технология нанесения многослойных спектрально - селективных покрытий на архитектурные стекла